           27,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           37
           27,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           37
           27,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           37
           27,           -1,pressure            ,    340.000,tycom               ,mtorr               ,           37
           27,           -1,sih4                ,    120.000,tycom               ,sccm                ,           37
           27,           -1,deptime             ,     30.000,tycom               ,minutes             ,           37
           27,            1,thickness           ,   2900.000,nanospec            ,angstroms           ,           37
           27,            1,slotpos             ,     14.000,nanospec            ,units               ,           39
           33,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           33,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           33,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           33,           -1,pressure            ,    605.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           33,           -1,sih4                ,    120.000,tycom               ,sccm                ,           39
           33,           -1,deptime             ,     30.000,tycom               ,minutes             ,           39
           33,            1,thickness           ,   3600.000,n                   ,angstroms           ,           39
           36,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           36,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           36,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           36,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           36,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           38
           36,           -1,deptime             ,     33.500,tycom               ,minutes             ,           38
           36,            1,thickness           ,   3270.000,as200               ,angstroms           ,           38
           36,            1,slotpos             ,     10.000,as200               ,units               ,           38
           36,            2,thickness           ,   2870.000,as200               ,angstroms           ,           38
           36,            2,slotpos             ,     10.000,as200               ,units               ,           38
           38,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           38
           38,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           38
           38,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           38
           38,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           38
           38,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           38,           -1,deptime             ,      5.333,tycom               ,minutes             ,           39
           38,            1,thickness           ,    670.000,as200               ,angstroms           ,           39
           38,            1,slotpos             ,     17.000,as200               ,units               ,           39
           39,           -1,templ               ,    610.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           39,           -1,tempc               ,    610.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           39,           -1,temps               ,    610.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           39,           -1,pressure            ,    550.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           39,           -1,sih4                ,    250.000,tycom               ,sccm                ,           39
           39,           -1,deptime             ,     57.000,tycom               ,minutes             ,           39
           39,            1,thickness           ,  10200.000,as200               ,angstroms           ,           39
           39,            1,slotpos             ,      9.000,as200               ,units               ,           39
           42,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           42,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           42,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           42,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           42,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           42,           -1,deptime             ,      1.330,tycom               ,minutes             ,           39
           42,            1,thickness           ,    294.000,as200               ,angstroms           ,           39
           42,            1,slotpos             ,     20.000,as200               ,units               ,           39
           42,            2,thickness           ,    338.000,as200               ,angstroms           ,           39
           42,            2,slotpos             ,     22.000,as200               ,units               ,           39
           43,           -1,templ               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           43,           -1,tempc               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           43,           -1,temps               ,    605.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           43,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           43,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           43,           -1,deptime             ,     30.000,tycom               ,minutes             ,           39
           44,           -1,templ               ,    500.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           44,           -1,tempc               ,    500.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           44,           -1,temps               ,    500.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           44,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           44,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           44,           -1,deptime             ,     30.000,tycom               ,minutes             ,           39
           43,            1,thickness           ,   3590.000,nanospec            ,angstroms           ,           39
           43,            1,slotpos             ,      8.000,nanospec            ,units               ,           39
           46,           -1,templ               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           46,           -1,tempc               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           46,           -1,temps               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           46,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           46,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           46,           -1,deptime             ,     30.000,tycom               ,minutes             ,           39
           46,            1,thickness           ,    865.000,nanospec            ,angstroms           ,           39
           47,           -1,templ               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           47,           -1,tempc               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           47,           -1,temps               ,    550.000,tycom               ,degrees C           ,           39
           47,           -1,pressure            ,    300.000,tycom               ,mtorr               ,           39
           47,           -1,sih4                ,    100.000,tycom               ,sccm                ,           39
           47,           -1,deptime             ,    120.000,tycom               ,minutes             ,           39
